全球领先技术项目库 | 国内自主研发集成电路专用废气处理设备

集成电路生产过程中

产生的废气较多,

主要是化学气相沉积和挥发性有机物。

今天小编要介绍的

全球领先技术项目库中这项技术，

能有效解决集成电路

生产中产生的废气，

并且已经具备国际先进水平。

京仪装备

集成电路制造专用等离子式废气处理装置

京仪装备曾获2020第四届“中国创翼”创业创新大赛北京市选拔赛暨第三届“创业北京”创业创新大赛决赛一等奖，2019第33届北京市企业管理现代化创新成果二等奖，2018年度北京市科学技术奖三等奖，第33届北京市企业管理现代化创新成果二等奖，京仪装备CHILLER2019年进入广州粤芯半导体。

该公司总经理于浩毕业于同济大学、中欧国际工商学院，曾任北京自动化技术研究院副总经理，曾就职于国内最大的半导体芯片制造企业，有多年半导体行业工作经验，熟悉半导体工艺流程及设备原理。参与并主导集成电路专用洁净机器人、温控装置和尾气处理设备的市场化工作，实现销售额逐年翻番增长，在市场推广及销售方面拥有丰富的管理经验，在企业运营及项目管理方面积累了丰富的经验。

董事赵力行2013年长江商学院EMBA毕业，曾多次主持或参与国家重大科技攻关项目，教授级高级工程师、企业博士后导师。

该公司总部位于北京亦庄经济技术开发区，是一家集研发、生产和销售为一体的高端装备制造企业，国家高新技术企业。公司产品为集成电路制造专用废气处理设备，能有效解决废气问题，减少废气在工作区域的滞留，确保人员、产线、环境安全。可广泛应用于半导体制造、液晶面板制造、LED、太阳能等相关行业。

等离子式废气处理装置与常规的燃气燃烧式废气处理装置不同，其以氮气为常压下产生等离子体的气源，同时生成高温环境进行废气的无害化处理，减少对天然气的使用和依赖，避免甲烷燃烧式产生温室气体的排放。

等离子式废气处理装置产生的温度(＞3000℃ )远高于燃气燃烧式产生的温度(1000℃ )，所以其对集成电路产线生产工艺过程中产生的PFC( 温室效应 )气体有卓越的处理效率。

这是国内首台自主研发的集成电路专用废气处理设备。对于有毒有害气体、温室效应气体的高处理效率，满足环保要求，具备国际先进水平；耐温与耐腐蚀材质的使用，延长零部件使用寿命。