近日
2020年度北京市科学技术奖
获奖名单正式发布
北京经开区企业北方华创微电子装备有限公司
（以下简称“北方华创”）
“12英寸先进集成电路制程电感耦合
等离子刻蚀机研发及产业化项目”
经层层评选获得
北京市科学技术进步奖一等奖
“12英寸先进集成电路制程电感耦合等离子刻蚀机研发及产业化项目”是由北京北方华创微电子装备有限公司、上海集成电路研发中心有限公司、中科院微电子研究所共同完成的集成电路技术领域的科研成果。12英寸先进集成电路制程电感耦合等离子刻蚀机是北方华创历经多年自主创新，取得的突破性研发成果。该设备采用自主知识产权、大面积、低容性的新型高密度等离子体源系统设计，实现了刻蚀均匀性的精确控制，并通过高效稳定的晶圆传输、颗粒和金属污染控制等关键技术设计，提升了设备量产性能。
目前，12英寸先进集成电路制程电感耦合等离子刻蚀机，已通过主流芯片生产线的工艺和量产验证，并实现批量销售。12英寸先进集成电路制程电感耦合等离子刻蚀设备的研发和量产实现了我国集成电路刻蚀设备的产业化与技术跨越，为中国集成电路产业的技术进步提供了有力支撑。
一年一度的北京市科学技术奖，是奖励本市对科技创新和发展做出突出贡献的组织和个人。这并非北方华创首次获得北京市科学技术奖，此前，北方华创的“100纳米等离子刻蚀机项目”“大产能高亮度LED刻蚀机研发及产业化”“磁控溅射设备（PVD）研发及产业化”“燃料电池气体流量控制系统”和 “12英寸28nm金属硬掩膜物理气相沉积设备研发及产业化”等多项产品和研发项目曾获此殊荣。
北方华创研发团队正在调试设备。资料图
北方华创缘何成为北京市科学技术奖“宠儿”？“自2020年下半年晶圆代工产能紧缺以来，‘缺芯’已经成为全球半导体行业短期难以抚平的‘阵痛’。半导体设备是推动集成电路产业甚至整个电子工业技术进步的引擎。”北方华创相关负责人表示，深耕半导体设备领域多年，北方华创已形成涵盖刻蚀机、PVD、CVD、立式炉、清洗机等半导体设备产品线，在集成电路、功率器件、化合物半导体、先进封装、新能源光伏、新型显示等领域得到广泛应用，成为国内半导体产业链上的重要成员。此前，北方华创的lCP刻蚀机已经完成1000腔交付，其刻蚀技术应用领域已覆盖集成电路、LED、先进封装、功率半导体、MEMS、化合物半导体、硅基微显等多个领域。其中，12英寸ICP刻蚀机在实现客户端28nm国产化替代的同时，在14/7nm SADP/SAQP、先进存储器、3D TSV等工艺应用中也发挥着重要作用。
北方华创用创新驱动发展。资料图
北方华创相关负责人表示：“北方华创创新发展取得的成果，离不开北京经开区良好的集成电路产业环境和政策扶持。”正如其所说，作为当前国内集成电路产业聚集度最高、技术水平最先进的区域之一，北京经开区已初步形成涵盖芯片设计、晶圆制造、封装测试、关键装备、核心零部件及材料等较为完备的集成电路产业链生态，产业规模占到北京市集成电路产业规模的一半，一批代表企业及研究机构承接了系列国家重大科技专项任务，在关键装备及材料、先进工艺开发及产业化等方面取得一批代表国家最高水平的成果。
北京经开区还为集成电路产业发展提供了强有力的资金支持，建立了以亦庄国投为核心的集成电路投融资体系。截至去年年底，亦庄国投母基金累计参与设立集成电路领域基金18只，基金总规模超3800亿元，为集成电路产业稳步发展提供强大支持。
按照产业蓝图，到2025年，北京经开区将实现集成电路关键技术和产品突破性发展，产业链式互动发展格局形成，龙头企业进入全球产业第一梯队，以企业为主体的产学研用相结合的技术创新体系全面形成，成为中国集成电路产业创新发展的核心区与承载地。
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