不同等级的半导体无尘车间需要配备的净化空调是不一样的，今天合洁电子净化工程公司就带大家来了解下万级半导体无尘车间工程需配备怎样的净化空调系统吧!
可根据半导体生产工艺特点、空气洁净度等级和布置要求，半导体无尘车间工程分为隧洞式、开发式和微环境等，也可按气流流型分为单向流洁净室、非单向流电子无尘车间工程和混合流洁净室。
单向流和混合流半导体无尘车间工程的噪声级(空态)不应大于65dB(A)，非单向流半导体无尘车间工程的噪声级(空态)不应大于60dB(A)。
工业半导体无尘车间工程垂直单向流洁净室的空间，应包括活动地板以下的技术夹层，洁净生产层和吊顶以上的上技术夹层。洁净厂房中，发热量、发尘量大的生产工序或生产设备，宜与空气洁净度要求严格的房间分隔布置;
半导体无尘车间工程型式的选择，应综合生产工艺要求、节约能源、减少投资和降低运行费用等因素确定，各种空气洁净度等级的工业洁净半导体无尘车间工程厂房，宜采用混合流洁净室，对空气洁净度净度要求严格时，宜采用微环境等型式。
洁净半导体无尘车间工程厂房的送风方式可以分为集中送风、隧洞送风、风机过滤器机组送风等。物料净化用室与洁净室(区)之间应设置气闸室或传递窗。
气流流型应满足产品生产工艺和空气洁净度等级的要求。空气洁净度等级为1～5级时，应采用单向流或混合流;空气洁净度等级为6～9级时，宜采用非单向流;半导体无尘车间工作区的气流流速应满足生产工艺和工作人员健康的要求。
以上就是本篇文章全部讲解，想必您读到这里，一定对万级半导体无尘车间工程该配备怎样的净化空调系统有了一定的认识，希望对您有所帮助。
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