文 | 步日欣
再生晶圆这个话题，其实当时沪硅产业上市的时候，就想聊一聊。
当时沪硅产业IPO的时候，招股书里曾披露过几个关于12英寸大硅片的信息，其中一个就是关于硅片价格的：
众所周知，就跟买烧饼一样，硅片当然也是越大越贵。然而沪硅产业的300mm（12英寸）硅片居然卖的比200mm（8英寸）都便宜，这不是一个正常现象。
业内人士当时就一针见血指出，沪硅产业出货的12英寸大硅片当中，因为产品性能等各方面原因，有一大部分还是Dummy Wafer，晶圆厂也不敢贸然拿他们的大硅片去当正片用。
测试片，价格当然不可能和正片同日而语，一片12英寸正片的价格在500元左右，而一片12英寸测试片，价格只有正片的三分之一，在150元左右。
这也是为什么沪硅产业的12英寸硅片价格如此低的原因，因为里面有相当一部分的测试片啊，拉低了整体的平均单价。
单纯从价格角度匡算，沪硅产业的正片比例大概只有40%左右。
正好昨天，跟朋友聊起关于协鑫集成募投再生晶圆的问题，索性把这个话题重新拾起来。
因为再生晶圆和测试片，有着密切的联系。
协鑫集成早在2018年就曾公告，拟通过非公开发行募集资金50亿元，主要用于大尺寸再生晶圆半导体项目。
不过由于种种不可知的原因，直到现在，增发尚未完成。而项目地址也由原来的徐州迁往合肥，并于2月25日与合肥正式签约，投资28.7亿元，建设年产8英寸60万片、12英寸300万片的可再生晶圆项目。
根据协鑫集成的新闻稿，大尺寸可再生晶圆加工为我国半导体产业链上紧缺的一环，当前国内尚没有能提供稳定产能及高品质的再生晶圆厂。产能主要集中在日本和台湾地区，仅RS、中砂、辛耘、升阳半4家就控制了全球80%以上的再生晶圆市场份额。
那么，问题来了，什么是再生晶圆？什么是测试片？
再生晶圆，顾名思义，就是用过的晶圆回收利用。但这里的用过，并不是指经过正常的流片工艺。而是在芯片制造过程中，用于特殊目的的晶圆（测试片）。
测试片，包括控片(Monitor Wafer)和挡片(Dummy Wafer)。前面提到过的Dummy Wafer，就是测试片的一种。
在芯片制造过程中，控片和挡片也是必不可少的。
控片，监控的控，主要作用是监控产线上的机器设备的稳定性和可靠性。产品投产之前、生产过程中，都需要用到控片。产品投产之前，需要用控片来试加工一下，检验一下产线的稳定性，即所谓的离线测试（off-line）；产品生产过程中，需要在正片中混杂一些控片，工艺完成后，可以用控片来判断该批次是否正常，即所谓的在线测试（on-line）。
而挡片的原理就更简单一些了，就是占位子用的。特别是在炉子（PVD/CVD/氧化扩散等）里，如果该批次的片子不满，留有空隙，可能会影响气流稳定性和均匀性，因此需要加一些挡片，来把空余的位置填充起来。
比如下面这张图，SiC晶圆在CVD设备中，就同时用到了控片和挡片。
为什么要用控片和挡片？难道用正片大硅片不行么？
原因只有一个，价格便宜啊，正片多少钱，半次品的测试片才几个钱？反正也不需要考虑晶圆的质量，特别是那些填充位置用的，用正片简直就是暴殄天物。
当然了，如果测试片能回收重新利用，当然就更好了，于是就出现了再生晶圆的概念。
再生晶圆是和测试片紧密联系在一起的，再生晶圆的目的是为了回收测试片，经过二次加工（化学浸泡，物理研磨等去掉氧化膜和残留），将用过的测试片复原，已达到重复利用的目的。
采用再生晶圆的一个原因，是测试片在整个流程中用量不少，而且制程工艺越先进，越需要密切关注产线性能，对测试片的需求量也越大。据统计，28nm制程工艺中，每生产10片正片，就需要加15-20片测试片。
另一个原因，测试片的价格也不便宜啊，一片一两百，而且用量这么大，能省则省，对于FAB常来说，省下来的都是利润。
当然了，测试片也不全部都是来自再生晶圆，毕竟重复回收几次，晶圆也会被弄糙，性能连控挡片的要求都不能满足。
而新的测试片，主要来自于硅片的次品，比如硅锭两头切割出来的品质较差的硅片，或者像沪硅产业的产品一样，筛选出正片后剩下的有瑕疵的硅片，做正片不行，当控挡片用用还是可以的。
从再生晶圆的市场规模和格局方面，之所以国内企业纷纷布局，包括已经入局的高芯众科、至纯科技，马上入局的协鑫集成，都说明市场机会还是存在的。
根据根据SEMI发布的《2018年再生硅晶圆预测分析 告》，2018年再生硅晶圆市场规模达到6.03亿美元的规模，其中12英寸再生晶圆市场份额占比75.8%。
当然这和全球百亿美金的硅片市场规模相比不值一提，但也是一个小而美的市场。
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