真空系统设计（电输人密封连接）

真空系统是指由真空泵、真空计及各种零件通过管道以适当的方式联接，组合成能达到一定真空度要求的装置。真空系统的基本要求是都有哪些？

3.4 电输人密封连接

3.4.1概述

为了给真空室中工作的机构供电，需采用真空电输人密封结构。电输入电极的引人导线与导线之间、导线与真空室璧之间应该满足电绝缘、真空密封和承受一定的电流负荷的要求。

电极及电极密封材料的选取取决于工作电压、电流、频率、温度等;电输人结构形式的选择取决于设备的工作压力范围。根据电输人结构的用途不同可分为:低压小电流引人结构、低压大电流引人结构和高压引人结构等。

在设计和确定电输人结构时应该注意以下问题:

(1)引人导线的藏面积应根据通过电流及所选材料来确定。材料不同，允许通过的最大电流不同，所选择的引人线截面积应大于理论计算值。

(2)根据引人导线的工作电压不同，选择不同的绝缘材料，并计算出绝缘厚度。表3- 33给出某些绝缘材料的击穿电压阅值。

表3-33某些绝缘材料的击 穿电压阈值

(3)橡胶密封的大电流电极引人线如果通过的电流很大，产生的焦耳热会使密封材料失效，此时，引入线应该采用水冷结构。

(4)高真空系统的引人线应能承受450C的烘烤。

(5) 应该避免各种金属蒸镀或溅射到引人线的绝缘材料上，以避免造成漏电短路、放电等。

在各种真空设备上经常遇到将电流输人到真空容器中供电，对于金属真空系统，这种引电装置最好采用可拆卸的连接密封，以便于维修。