真空系统设计(真空规管密封接头)

真空系统是指由真空泵、真空计及各种零件通过管道以适当的方式联接,组合成能达到一定真空度要求的装置。真空系统的基本要求是都有哪些?

3.3.4.2 真空规管密封接头

A橡胶密封真空规管接头

橡胶密封真空规管接头适用于真空系统中用橡胶圈密封的测量规管接头连接。该接头形式分1型、II 型和皿型三种。I型接头为快速连接型,其快速连接法兰应符合相应的国家标准规定; I 型接头为法兰连接型,其法兰应符合相应的国家标准规定:型接头 为焊接型,其焊接方式与接管长度可以根据真空系统结构需要选取确定。要求各型规管接头装配后规管接头处的漏气率小于1.0×10-Pa.Ls.真空规管接 头的结构形式及主要尺寸如图3-89和表3- 30所示。

图3-89真空规管接 头结构形式

表3-30真空规管接头结构尺寸(mm)

①可按需要调整。

真空规管接头所用的橡胶密封圈的材料为丁腈橡胶或氟橡胶,橡胶密封圈的尺寸可按图3-90及

表3-31的规定。

表3-31真空规管接头用橡胶密封圈尺寸

B金属密封真空规管接头

金属密封真空规管接头适用于可烘烤真空系统中的真空测量用的规管接头,连接所用的法兰及铜密封垫应符合《超高真空法兰》(CB/T6071) 的规管规定。规管接头的烘烤温度不大于300,规管接

图3-90真空接头用橡胶密封圈

头密封处的漏气率不大于7.0x 10-8Pa . L/s。法兰与玻璃管之间采用过渡接管封接。

金属密封真空规管接头的结构形式与尺寸见图3-91及表3-32。

图3-91金属密封真空规管接 头的结构形式( I型)

表3-32金属密封真空 规管接头的结构尺寸(mm)

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