格林斯达环保燕东微电子在线监测系统工程项目案例彰显硬实力

北京燕东微电子科技有限公司8英寸集成电路研发产业化及封测平台建设项目酸性废气（SEX）系统在线监测设备（CEMS），由格林斯达提供设计、制造、安装、调试、试验及检验。

本项目共计实施6套在线监测系统设备，监测项目：SO2、NOx、O2、颗粒物、温度、压力、流量、湿度。格林斯达提供的废气在线监测系统（CEMS）采取每个排气筒配一套CEMS设备的方式，保证了所供应的设备能对每个排气筒的废气进行独立监测。

在线监测站房内设置就地上位机和工控机，能保证按照环保局规定的上传卡数量上传所有采样口的采样数据。上位机或工控机可以采集多套在线监测系统数据，对接FMCS进行数据上传时，从就地上位机预留端口上传。

采样单元：

稀释抽取取样

高温采样探头；

加热温度Z高能到200℃ 高温过滤器；

加热采样管线；

采样点安装在独立竖直排气筒上，采样点与分析仪之间距离Z长约7米。需考虑敷设长度对取样管路及伴热的影响，采样管线从分析仪到探头，为连续长度的全加热管线，具有自动温度控制功能，保证采样管内维持一定的温度，从而尽可能保证采集样品与初始值保持一致，Z终确保环保监测系统连续、正确地采集样气。采集管需耐各种酸、碱介质腐蚀；并能保证在正常及二倍正常压力的异常情况状态下运行无泄漏。

北京燕东微电子在线监测系统

原文地址：燕东微电子在线监测系统工程-格林斯达环保

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格林斯达环保集团是一家集环保咨询、研发设计、加工制造、设备销售、系统集成、智慧运维于一体的废气处理解决方案提供商。

集团部分工艺废气治理项目案例

集团创始人戴恩平先生深耕泛半导体工艺废气治理领域20年，带领团队持续服务于中芯国际、中芯京城、中芯北方、中芯集成、上海积塔、有研、燕东微电子、北京集电控股、武汉长江存储、无锡华虹、爱旭等众多泛半导体行业知名业主，致力于提供稳定、安全、系统化的半导体集成电路/泛半导体产业工艺排气系统集成方案和自主研发的核心设备。