请介绍一下公司的L/S设备、LOC-VOC设备？
公司通过加大研发投入逐步实现了L/S设备、LOC-VOC设备的国产化研制，目前这两款设备均已实现批量生产并交付客户使用。
L/S是local scrubber的简称，是泛半导体工艺设备PFCS污染物处理装置，用于对制程过程中产生的含氟、氯、硅等元素为代表的成分复杂的有毒有害废气进行源头处理，该设备一端与泛半导体工厂工艺设备相连，通过真空泵抽取工艺设备内产生的废气并进行分解；另一端与中央治理系统相连，将分解后的尾排气体排至中央处理装置并进行后续处理。L/S属于泛半导体工艺制程设备的一部分，其运行稳定性及气体处理效率要求高，目前，公司已实现L/S机型的量产并已交付客户使用。
LOC-VOC是一种泛半导体洁净室EHS处理装置，用于处理洁净室内弥散的VOC气体，用于保障生产员工的职业健康和安全。含有VOCs的气体通过沸石，VOCs被吸附，洁净气体排至车间，小风量的高温气体从沸石上脱附出高浓度的VOCs，排至VOCs中央处理装置，集中处理达标排放。目前，公司已实现该设备的量产并已交付客户使用。
2、泛半导体湿电子化学品供应与回收再生系统业务进展
公司基于对泛半导体客户生产工艺的理解，持续进行了湿电子化学品供应与回收再生系统的技术研发，取得了初步成果，为京东方、奕斯伟、和辉光电、惠科系等客户提供了湿电子化学品供应与回收再生系统产品和服务。
在回收再生方面，公司承接的上海和辉光电有限公司第六代AMOLED显示项目-剥离液回收系统项目已投入运营，实现剥离液废液的回收再生，在泛半导体行业原材料价格上涨的情势下进一步为客户降本增效。
相比其他行业竞争对手，公司进入湿电子化学品供应与回收再生系统领域时间较短，公司尚存较大的追赶空间，未来公司将加大该领域关键设备及零部件等的研发投入，扩大该领域市场份额。
3、过去几年公司增长相对比较平稳，未来增速是否可能会加速
我们相信，随着中国泛半导体产业国产化加速、环保监管趋严，未来市场存在增长空间，泛半导体产业、环保产业细分领域关键零部件及材料的国产化依然大有可为。关于业绩增速情况,请您及时关注我们的定期 告。
4、公司产能利用率的情况
截至目前，公司产能均已得到充分利用，公司正在积极努力通过人员扩招、优化生产工艺等等多种方式加快产品交付；此外，公司首次公开发行股票募投项目“环保装备智能制造项目”正在有序进行中，该项目扩建后将进一步扩大公司产能。
5、目前公司收入中，源自于集成电路产业贡献的收入占比有多少？
6、公司L/S设备的竞争对手有哪些？
公司L/S设备的竞争对手主要为外资企业，如Edwards Ltd、DAS Environmental Expert GmbH、Kanken Techno、GnBS Engineering Co.LTD等。
7、请介绍一下和辉光电剥离液回收系统项目的商业模式？
公司承接了上海和辉光电有限公司第六代AMOLED显示项目-剥离液回收系统项目，公司为和辉光电在其产线内部配套建设、运营和维护废剥离液回收再生系统装置，该套系统只服务于和辉光电，用于持续收集和处理和辉光电生产线上排下的化学品；系统投入运行后，公司获得该系统在经营期内的运营权并取得剥离液回收设施运营服务费。
通过采用此种商业模式帮助客户实现湿电子化学品的回收再生，不仅可为客户节省危废处置费用，还可提高其原材料的经济效益，减少原材料部分采购成本，为产业绿色生产创造价值。
8、中国接受基加利修正案，对公司的废气治理系统及设备业务是否有影响？
基加利修正案明确将HFC134、HFC134a、HFC143、HFC245fa等18中氢氟碳化合物（HFCs）列入受控物质清单。公司设计、加工制造的L/S设备针对泛半导体工艺机台排出的包括HFCs在内的含氟、氯、硅等元素为代表的成分复杂的有毒有害废气进行源头处理，通过高温氧化、还原反应，降低有毒物质浓度，有助于控制HFCs的排放。
9、请介绍一下公司目前与北方华创的合作情况？
北方华创科技集团股份有限公司是国内主流高端电子工艺装备供应商，受到集成电路行业主流客户的广泛信赖。北方华创是公司的重要合作伙伴，公司积极为北方华创等客户开展配套合作、加大研发投入，公司生产的L/S、LOC-VOC设备作为泛半导体制程设备之附属设备，安装于制程设备侧，是泛半导体客户生产工艺不可分割的组成部分，配合北方华创的制程设备一同运行。
未来，公司将继续与北方华创保持更加紧密的合作关系，优势互补，发挥协同作用。
目前公司L/S设备是否已进入半导体领域？
截至目前，公司L/S设备在半导体领域已有交付业绩。未来，公司将不断进行研发优化，努力攻克12寸晶圆制程领域。
公司收入是否有季节性波动的规律？
公司收入季节性特点不强，各季节收入波动情况受下游客户投资建设进度影响较大。
12、公司工艺废气治理系统的建设周期？收入确认方式？
公司废气治理系统类业务的建设周期因项目规模、项目现场条件、客户整体安排等不同而有所差异，整体而言，公司系统类业务从开工到完工调试验收大多在一年以内，少部分项目由于建设周期相对较长，使得其周期超过一年。
系统类业务收入确认方式：如存在安装调试义务，公司根据合同约定完成相应工作并取得安装调试验收单据后确认收入；如无安装调试义务，公司在发货后取得客户确认的到货验收单据时确认收入。
13、公司工艺废气治理领域的营业收入中，来自集成电路、光电显示的营业收入分别是多少？
公司工艺废气治理收入中，来自集成电路领域的收入增长较快，具体情况请参考公司2021年半年度 告。
L/S设备的产能情况，扩产难度？
目前，公司L/S设备的年产能为200套。公司通过长期的技术投入及固定资产投资，具备较强的设备研发制造能力，已经具备了L/S设备的批量化生产能力，未来公司将根据订单情况进一步规划扩产方案，目前无实质障碍。
湿电子化学品回收业务未来市场空间如何？
目前国内泛半导体领域绝大多数厂商暂未对湿电子化学品废液进行在线回收，湿电子化学品的使用成本包括采购新液加废液处置费，而使用在线回收系统进行回收将减少厂商的新液采购量并减少废液处置费用支出。出于泛半导体厂商降本需求和绿色生产趋势考虑，湿电子化学品回收业务未来市场开拓空间巨大。
16、除剥离液外，是否还有其他湿电子化学品可以进行回收再生？
理论上讲，显影液、蚀刻液、NMP、稀释剂也可通过回收再生方式处理，但每种化学品的回收价值不同，实际回收价值尚需市场检验。
附：活动信息表
| 投资者关系活动类别 | √特定对象调研 □分析师会议 □媒体采访 □业绩说明会 □新闻发布会 □路演活动 □现场参观 √电话会议 □其他 （请文字说明其他活动内容） |
| 参与单位名称及人员姓名 | 2021年7月6日 上午10:30 特定对象调研 西南证券王谋，永赢基金张世杰，上投摩根黄进，华泰证券王玮嘉、惠普 赋格投资陈派卿，聚鸣投资惠博闻，长信基金齐菲； 2021年7月25日 下午2:00 电话会议 赋格投资张东东、吴洋、罗佶嘉、朱明瑞、朱亚、陈派卿；聚鸣投资惠博闻；交银施罗德基金杨金金；大成基金黄海昕；华创证券耿琛、葛星甫 |
| 上市公司接待人员姓名 | 董事长、总经理、董事会秘书：张伟明 董事：汪哲 证券事务代表：郑雪莹 投资管理：包琳 |
| 附件清单（如有） | 无 |
| 日期 | 2021年7月6日；2021年7月25日 |
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