净化知识分享+复工第二十四天(无尘车间洁净检测)

无尘车间洁净检测与业主达成共识委托第三方检测;先第三方检测的纸质 审,后确定检测内容;根据招投标清单制定检测的项目;根据现场实际情况进行检测方案编制;

本工程为超精密集成电路柔性载板基材及相关模组设计、研发及生产项目洁净室检测。(本方案为原清单增加检测内容的补充方案。)

为确保工程进度和工程要求与(业主)厦门金柏半导体有限公司要求,总包单位:中铁三局集团有限公司、分包单位:福建忠民集团有限公司,监理单位:厦门市东区建设有限公司,管理公司:世源科技工程有限公司;于2021年10月18日现场多方协商会议确定,依据国标制定本方案。

二、洁净度检测主要依据

1、《洁净室施工及验收规范》GB50591-2010

2、《医药工业洁净室(区)悬浮粒子的测试方法》GB/T16292-2010

《超精密集成电路柔性载板基材及相关模组设计、研发及生产项目建筑平面图》

三、检测内容

受厦门金柏半导体有限公司委托,本公司对该工程进行检测内容如下:

3.1 洁净室检测内容

悬浮粒子浓度;高效过滤器检漏;风量和风速;房间压力;噪音;照度;表面导静电性能;温度、相对湿度;

四、检测内容及抽样方案

4.1洁净室检测

4.1.1悬浮粒子浓度

检测内容:悬浮粒子浓度;

检测要求:最低限度的采样点数应符合标准规定或按公式:NL=A0.5进行计算;其中A为待测洁净区面积

注意事项:该工程检测之前,应对被测环境和风系统再次全面彻底清洁,系统已连续运行12h以上;

检测数量:依据《洁净室施工及验收规范》GB50591-2010对不同洁净度等级房间悬浮粒子浓度进行检测。

各房间洁净度等级和检测数量见表1

表1 受检房间洁净度和检测点数

序号

房间功能

房间轴号

洁净度测量高度

设计洁净度等级

测量数量(点)

1

洗衣房 1F-02

3~4⊥J~K

距地坪0.8m的水平面

ISO7级

9

2

IQA二更1F-08B

3~4⊥H~J

距地坪0.8m的水平面

ISO7级

4

3

货仓工具间1F-08C

3~5⊥H~J

距地坪0.8m的水平面

ISO6级

5

4

货仓工具间②1F-08D

4~5⊥H~J

距地坪0.8m的水平面

ISO6级

5

5

二次更衣室1F-10A

5~6⊥G~H

距地坪0.8m的水平面

ISO7级

4

6

分切卷装来料房1F-10B

5~6⊥H~J

距地坪0.8m的水平面

ISO7级

6

7

模具保留间1F-10C

6~7⊥H~J

距地坪0.8m的水平面

ISO7级

5

8

冲压间1F-10

5~8⊥G~J

距地坪0.8m的水平面

ISO7级

22

9

二次更衣室1F-11A

2~3⊥F~G

距地坪0.8m的水平面

ISO7级

5

10

垂直物流间1F-11C

1~2⊥F~G

距地坪0.8m的水平面

ISO7级

5

11

炉间1F-11D

1~3⊥E~G

距地坪0.8m的水平面

ISO6级

11

12

层压间1F-11

2~5⊥E~G

距地坪0.8m的水平面

ISO6级

21

13

二次更衣室1F-12A

5~6⊥E~F

距地坪0.8m的水平面

ISO7级

5

14

测试区1F-12

5~8⊥E~G

距地坪0.8m的水平面

ISO6级

24

15

二次更衣室1F-13A

2~3⊥E~F

距地坪0.8m的水平面

ISO7级

7

16

光阻图层间1F-13D

1~3⊥C~F

距地坪0.8m的水平面

ISO6级

15

17

边缘涂胶房间1F-13F

2~3⊥D~E

距地坪0.8m的水平面

ISO6级

6

(接下表)

明天继续分享检测方案的后面部分

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