无尘车间洁净检测与业主达成共识委托第三方检测;先第三方检测的纸质 审,后确定检测内容;根据招投标清单制定检测的项目;根据现场实际情况进行检测方案编制;
本工程为超精密集成电路柔性载板基材及相关模组设计、研发及生产项目洁净室检测。(本方案为原清单增加检测内容的补充方案。)
为确保工程进度和工程要求与(业主)厦门金柏半导体有限公司要求,总包单位:中铁三局集团有限公司、分包单位:福建忠民集团有限公司,监理单位:厦门市东区建设有限公司,管理公司:世源科技工程有限公司;于2021年10月18日现场多方协商会议确定,依据国标制定本方案。
二、洁净度检测主要依据
1、《洁净室施工及验收规范》GB50591-2010
2、《医药工业洁净室(区)悬浮粒子的测试方法》GB/T16292-2010
《超精密集成电路柔性载板基材及相关模组设计、研发及生产项目建筑平面图》
三、检测内容
受厦门金柏半导体有限公司委托,本公司对该工程进行检测内容如下:
3.1 洁净室检测内容
悬浮粒子浓度;高效过滤器检漏;风量和风速;房间压力;噪音;照度;表面导静电性能;温度、相对湿度;
四、检测内容及抽样方案
4.1洁净室检测
4.1.1悬浮粒子浓度
检测内容:悬浮粒子浓度;
检测要求:最低限度的采样点数应符合标准规定或按公式:NL=A0.5进行计算;其中A为待测洁净区面积
注意事项:该工程检测之前,应对被测环境和风系统再次全面彻底清洁,系统已连续运行12h以上;
检测数量:依据《洁净室施工及验收规范》GB50591-2010对不同洁净度等级房间悬浮粒子浓度进行检测。
各房间洁净度等级和检测数量见表1
表1 受检房间洁净度和检测点数
序号 |
房间功能 |
房间轴号 |
洁净度测量高度 |
设计洁净度等级 |
测量数量(点) |
1 |
洗衣房 1F-02 |
3~4⊥J~K |
距地坪0.8m的水平面 |
ISO7级 |
9 |
2 |
IQA二更1F-08B |
3~4⊥H~J |
距地坪0.8m的水平面 |
ISO7级 |
4 |
3 |
货仓工具间1F-08C |
3~5⊥H~J |
距地坪0.8m的水平面 |
ISO6级 |
5 |
4 |
货仓工具间②1F-08D |
4~5⊥H~J |
距地坪0.8m的水平面 |
ISO6级 |
5 |
5 |
二次更衣室1F-10A |
5~6⊥G~H |
距地坪0.8m的水平面 |
ISO7级 |
4 |
6 |
分切卷装来料房1F-10B |
5~6⊥H~J |
距地坪0.8m的水平面 |
ISO7级 |
6 |
7 |
模具保留间1F-10C |
6~7⊥H~J |
距地坪0.8m的水平面 |
ISO7级 |
5 |
8 |
冲压间1F-10 |
5~8⊥G~J |
距地坪0.8m的水平面 |
ISO7级 |
22 |
9 |
二次更衣室1F-11A |
2~3⊥F~G |
距地坪0.8m的水平面 |
ISO7级 |
5 |
10 |
垂直物流间1F-11C |
1~2⊥F~G |
距地坪0.8m的水平面 |
ISO7级 |
5 |
11 |
炉间1F-11D |
1~3⊥E~G |
距地坪0.8m的水平面 |
ISO6级 |
11 |
12 |
层压间1F-11 |
2~5⊥E~G |
距地坪0.8m的水平面 |
ISO6级 |
21 |
13 |
二次更衣室1F-12A |
5~6⊥E~F |
距地坪0.8m的水平面 |
ISO7级 |
5 |
14 |
测试区1F-12 |
5~8⊥E~G |
距地坪0.8m的水平面 |
ISO6级 |
24 |
15 |
二次更衣室1F-13A |
2~3⊥E~F |
距地坪0.8m的水平面 |
ISO7级 |
7 |
16 |
光阻图层间1F-13D |
1~3⊥C~F |
距地坪0.8m的水平面 |
ISO6级 |
15 |
17 |
边缘涂胶房间1F-13F |
2~3⊥D~E |
距地坪0.8m的水平面 |
ISO6级 |
6 |
(接下表)
明天继续分享检测方案的后面部分
声明:本站部分文章内容及图片转载于互联 、内容不代表本站观点,如有内容涉及侵权,请您立即联系本站处理,非常感谢!