SEMI S2与工业卫生

工业卫生，也被称为职业健康，其概念为保障健康与安全的人员工作场所环境。

在半导体及面板等电子工厂，工业卫生主要涉及化学与物理两类危害因子，物理类譬如X射线、射频电磁场、噪声等因子，化学类譬如磷烷、氯气等特种气体。

按照国家法规与标准要求，所有危害因子必须被有效地控制在限值以下，如果职业病防治院或其他政府单位在企业进行现场检测出现超标的情况，根据具体情况企业会面临限时整改、罚款或更高级别的处罚措施。

中国、美国、欧盟等不同地区各有体系，以下的内容就以中、美两国的工业卫生体系为例为大家介绍工业卫生在SEMI S2认证中的角色。

中国企业在接受政府单位的检测时，主要参考的限值出自以下国家标准，并且在这些标准中也引用了其他GB、GBZ等标准，对各类因子的测试、采样、检测技术与手法进行了详细的规定。

美国的工业卫生法规主要来自OSHA、EPA等机构，以及ACGIH、NIOSH等非政府性技术机构。目前全球范围适用性最强、并且广为大众所接受与采纳的标准为ACGIH出版的TLV（Threshold Limit Value）。

我们对比一下GBZ与ACGIH TLV两个工业卫生体系中化学危害因子限值的名称与类别，发现名称与应用的规则基本相同；对于大多数危害因子，ACGIH TLV数值较为严苛，对于少数危害因子，GBZ较为严苛。ACGIH的强适用性源自其投入的大量资源，且每年进行数值的修订。

半导体与面板等电子行业在工艺中使用了大量的物理、化学危害因子，因此工业卫生是SEMI S2中最为重视的评估内容之一，例如

工业卫生的评价需要有很强的理工科专业背景与毒理学、气体采样与分析、统计学、排风设计等大量的专业知识。SEMI S7中也对SEMI S2评估时工业卫生相关部分的人员资质做出了规定，美国的CIH（注册工业卫生师）、英国的Chartered Industrial Hygienist等，均为国际接受的专业资格证。