等离子体是一种物质状态,通常存在于固体、液体、气态三种状态,但在特定条件下也有第四种状态,例如地球大气中电离层中的物质。等离子体轰击被清洗的物体表面,与有机物发生化学和物理作用,生成挥发性化合物,随工作气体排出,达到清洁的目的。等离子体清洗是利用等离子体中各种高能量物质的活化作用,将附着在物体表面的污垢完全剥离掉。
等离子清洗的一个特点是,通常在物体表面等离子体处理后,常常会生成许多新的活性基因,使物体表面活化,改变其性能,可极大地提高物体表面的润湿性和附着力,这对于很多材料来说至关重要。所以,等离子体清洗与很多溶剂所不能相比的是湿法清洗。
接下来为大家揭晓等离子清洗技术在半导体领域的应用。
(1)清洗晶片:去除残留的光刻胶;
(2)银胶封前:极大地改善了工件表面的粗糙度及亲水性,有利于银胶的铺贴和贴片,极大地节省银胶,降低成本;
(3)切断引线前的清理:清洁焊盘,改善焊接条件,提高焊接的可靠性和良好的比率;
(4)塑料密封:提高塑料密封和产品粘接的可靠性,减少了层次性;
(5)清洗基板:BGA贴装之前,对PCB上PAD的PAD表面进行粗化和活化,极大地提高了BGA安装一次成功率;
(6)通过等离子体处理,可达到引导框表面超净化的效果,提高芯片连接质量。
等离子清洗技术可以 不分处理对象,可处理不同的基材。无论是金属、半导体、氧化物还是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚脂、环氧树脂等高聚物)都可用等离子体很好地处理。因此,特别适合不耐热和不耐溶剂的基底材料。
而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗。在完成清洗去污的同时,还能改变材料本身的表面性能。如提高表面的润湿性能,改善膜的附着力等。
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