罗茨泵在真空工艺应用中发生故障的原因及纠正措施

许多真空工艺装置中，在前级泵的基础上都配备罗茨泵（图1），一是可以提高抽速，二是改善真空。然而，罗茨泵在运行过程中经常遇到下列问题：

图1 罗茨泵的剖面图

1.罗茨泵在启动时由于电机过载而跳闸

国内罗茨泵的最大允许压差一般都规定在5000Pa，其电机容量亦是根据最大允许压差来设定。例如：罗茨泵与前级泵抽速之比为 8：1，若罗茨泵在2000Pa下启动，罗茨泵压差为8×2000Pa-2000Pa=14000Pa>5000Pa，于是就超过它的最大允许压差，所以要根据罗茨泵与前级泵的配比来确定罗茨泵的最大启动压力。

2.罗茨泵在运行过程中过热，甚至造成转子被卡死

造成罗茨泵过热有两个原因：一是入口气体温度过高，因为被抽气体通过罗茨泵后，温度会进一步升高，如果泵体长时间在超过 80℃下运行，会产生一系列故障，甚致造成转子因热膨胀而卡死，建议当入口气体温度超过 50℃时，在罗茨泵上游增设热交换器。

另一原因是罗茨泵排气侧的压力过高，特别是当前级泵为液环泵时，如果液环泵的密封液被工艺气体污染，产生高的蒸汽压，则罗茨泵长时间在高压差运行，就会导致过热。

3.前级泵的液体倒流到罗茨泵的泵腔内

这种现象在罗茨水环机组中常有发生。因为在停水环泵时，虽然罗茨泵己经停止运转，但罗茨泵仍处于真空状态，水环泵的水就会返流到罗茨泵的泵腔内，甚至通过迷宫密封进入油箱，使油乳化，轴承损坏。

因此在停水环泵前，必须从水环泵的入口充入大气，而且充气时间必须在水环泵停止运转以后继续维持30秒。