真空系统设计（柔性连接密封）

真空系统是指由真空泵、真空计及各种零件通过管道以适当的方式联接，组合成能达到一定真空度要求的装置。真空系统的基本要求是都有哪些？

3.5.4.1非金属柔性动连接 密封

用于非金属柔性动连接密封的主要变形密封材料是真空橡胶。由于橡胶的放气率高和不能承受高温，因此对要求达到1.3×10-+Pa以下的压力或者需要进行高温烘烤的真空设备来说，不宜采用这种密封连接形式。如果采用耐热硅橡胶密封材料，其最高使用温度范围可以达到150C。靠橡胶变形的密封元件可以向真空中传递直线往复运动、摆动和旋转运动。

图3-152是一种往真空室内传递转 数达每分钟几百转的装置，它利用真空橡胶管实现密封。在这种装置中，具有球面支撑的轴1装在盖2的球面轴承座中用压盖3盖住，并套上皮带轮8。皮带轮8上带有支臂9，其上有轴承10,并把它装在轴1的上端。轴1的下端装上轴承11，轴承11装在支臂12上。支臂12可以带动芯轴13在轴承套15内的轴承14中转动。当皮带轮8由皮带19带动旋转时，轴1则围绕球面支承做圆锥形运动。此时橡胶管5相应于轴1摇动，可见它并不受扭矩作用，因此真空橡胶管5可以长时间工作。当轴1做圆锥形运动时，真空室内的芯轴13即被带动旋转，其转数和皮带轮8的转数同步。

图3-152采用橡胶管传 递旋转运动的密封装置结构示意图

1-球面支承轴; 2-端盖; 3一压盖; 4-橡胶管密封座; 5-橡胶管;

6-密封接头:7, 10, 11, 14-轴承; 8–皮带轮; 9- -皮带轮支臂， 12-支臂; 13- 芯轴;

15-轴承套; 16- 动密封支承架; 17-真空室; 18-密封圈; 19- -皮带

图3- 153是利用圆简形橡胶隔套作为密封元件传递往复直线运动的例子。在这种结构中，连杆1用圆简形橡胶隔套2密封，隔套的外缘固定在真空室的壳体上，内缘固定在连杆上。圆简形橡胶隔套可以弯曲折叠180°，因此用它可以得到很大的位移量。这种结构常常用在气动真空阀门、低真空阀门的结构中。

在真空中摆角a= 10° -20的摆动运动可以用图3- 154所示的密封结构来实现。在这种结构中，铰链杠杆1可相对于轴A做摆动运动，而轴A固定在真空室壳体上，并用平橡胶隔板2密封。在工作过程中，橡胶隔板承受复杂的弯曲变形。

图3-153采用橡胶隔套密封传递往复直线运动

1一连杆; 2-橡胶隔套

图3-154采用橡胶隔板密封传递摆动

1一杠杆; 2-橡胶隔板

图3- 155所示的动密封装置是把大气压力下的主动轴1的旋转运动传递给真空中的从动轴5。在这种装置中，传递运动是靠两个斜接圆盘2通过小球3的相互作用来实现的。小球3安装在支持架4内，当主动轴旋转时，垫圈6相对于轴摆动，通过小球使从动轴转动起来。柔性隔板7起密封作用。柔性隔板可以作成环状，其外缘固定在真空容器的壳体上，其内缘则固定在摆动的垫圈上。