美国BROOKS流量计-5850EM 系列金属密封热式质量流量控制器

美国BROOKS流量计-5850EM 系列金属密封热式质量流量控制器

型号：5850EM/ 5851EM
5850EM 系列金属密封质量流量控制器测量和控制超洁净环境中的高压气体流量，其稳定性基于广泛使用的 5850E 和 i 系列 MFC 的性能。其金属密封结构和电抛光润湿表面确保出色的流动完整性，并通过消除对气体压力的持续监测和重新调整以提供稳定的气体流动的需要，帮助提高整体工艺效率。

美国BROOKS流量计-5850EM 系列金属密封热式质量流量控制器

概述

特征
每年<0.2%满量程的长期零稳定性
<3 秒的稳定时间来命令更改，过冲/下冲可忽略不计
流量范围宽——从 3 sccm 到 30,000 slpm
高压等级 – 高达 1,500 psi
可选的增强工艺内部光洁度 – 5μ 英寸 Ra avg
可拆卸流量传感器
对安装姿态不敏感
与其他质量流量控制器机械和电气兼容
TTL 兼容“阀门关闭”和吹扫功能
好处
全金属流路提高了气体纯度并减少了泄漏
在广泛的过程和应用范围内经过验证的长期稳定性和准确性
可靠的性能带来出色的投资回
可拆卸流量传感器无需连续监测和重新调整气压
通过仅模拟输入/输出轻松安装和维修
应用
光纤
LED / MOCVD
半导体
太阳的

规格：

产品类别质量流量控制器
微分器
具有久经考验的长期性能的大型安装基础

表现
流量范围（满量程）3 立方厘米 – 30,000 立方厘米
准确性
1% FS 包括 线性度

1.5% FS 含 线性度 >20 slpm

重复性
费率的 0.2%

线性度
±0.5% FS（包括在精度中）

响应时间
常闭阀：<3 秒

可选：600 毫秒

多气体和范围可配置性
—

压力瞬态不敏感—
控制范围
2-3% – 100%

箱数
不适用

阀门关闭
不适用

零稳定性< ±0.5% FS 每年
机械的
密封材料金属
纯度水平/表面光洁度
316L VAR、316L 和高合金铁素体不锈钢

接液材料
阀座：316L、Viton ?氟橡胶、Buna-N、Kalrez ?或 Teflon ?

阀门选项
常闭、常开

仪表（无阀门）

收视率
最高温度65摄氏度_
差压范围
5 – 50 psi（取决于气体和范围）

最大压力
1500 磅/平方英寸

泄漏完整性1×10 -10 atm cc/sec He
诊断和显示
诊断能力—

状态灯MFC 运行状况、 络状态
警
控制阀输出， 络中断

诊断/服务端口
不适用

美国BROOKS流量计

电气
模拟通信
4-20毫安

0-5 伏直流电

数字通信
—

电气连接
15 针 D 连接器 (DA-15P)

电源/消耗
常闭阀：3.25 瓦

常开阀：10.5 瓦

遵守
电磁兼容
(89/336/EEC) 每 61326

环境合规
不适用

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