真空系统设计（金属密封法兰）

真空系统是指由真空泵、真空计及各种零件通过管道以适当的方式联接，组合成能达到一定真空度要求的装置。真空系统的基本要求是都有哪些？

3.3.3.4 金属密封法兰

金属密封法兰适用于超高真空系统中不锈钢法兰连接。金属密封法兰常用的密封材料有铝、铜和金等。金属密封法兰的最高允许烘烤温度为450C，通常不大于300C。国家标准规定要求法兰在300C下反复烘烤后，法兰密封处的漏气率小于1 x10-δPa. L/s。

金属密封法兰连接结构适用于要求密封材料耐200C以上高温烘烤及压力低于10-7Pa的超高真空系统装置。在金属密封法兰的连接中，其螺栓、螺母及垫圈与法兰装配时，一般应 在螺栓和螺母之间加二硫化钼润滑剂。

A连接形式与连接尺寸

国家标准CB/T6071- 2003 规定了内焊型、松套型和盲型超高真空金属密封法兰的结构形式，其连接形式如图3-80所示，法兰与接管的连接尺寸见表3-22。

图3-80金 属密封超高真空法兰结构形式

(a) 内焊型; (b)松套型

表3-22金属密封真空法兰与接管的连接尺寸 ( mm)

①优先采用;

②括号内规格为限制采用规格;

③DN40的实际公称通径为35mm, DN160 的实际公称通径为150mm;

④为推荐值。

GB/T 6071- -2003 标准规定法兰材料推荐采用0Cr18Ni9或1Crl8Ni9Ti不锈钢制造，法兰与接管的焊接采用氩弧焊。当法兰的公称通径小于25mm时，法兰可与接管制成-体。法兰的密封刀口处严禁有划伤、斑痕等影响真空密封性能的缺陷。

B内焊型法兰形式及尺寸

内焊型超高真空法兰形式及尺寸如图3-81和表3-23所示。

图3-81内焊型法 兰结构形式

表3-23内焊型法兰尺寸 mm

①优先采用;

②括号内规格为限制采用规格;

③DN40的实际公称通径为35mm, DN160 的实际公称通径为150mm。

C 松套型法兰形式与尺寸

松套型超高真空法兰形式及尺寸如图3-82和表3-24所示。

图3-82松套型法兰结构形式

表3-24松套型法兰尺寸 (mm)

①括号内规格为限制采用规格。

松套型超高真空法兰所用的肩环形式及尺寸如图3-83和表3-25所示。

D盲型法兰形式与尺寸

盲型法兰用于超高真空容器或真空管路中的盲板连接，盲型超高真空法兰结构形式及尺寸如图3-84和表3-26所示。

图3-83松套型法兰肩环结构形式

表3-25松套型法兰肩环尺寸 ( mm)

①优先采用;

②括号内规格为限制采用规格:

③DN40的实际公称通径为35mm, DN160 的实际公称通径为150mm。

图3-84盲 型法兰肩环结构形式

表3-26盲型法兰肩环尺寸( mm )

①括号内规格为限制采用规格。

E 法兰用铜密封垫形式及尺寸

超高真空法兰金属密封用的铜密封垫形式及尺寸如图3-85和表3-27所示。

图3-85金 属密封法兰用铜密封垫结构形式

表3-27法兰 用铜密封垫尺寸 (mm)

①括号内规格为限制采用规格。