电子半导体行业在生产时会使用显影剂、光刻胶、清洁剂、蚀刻液等溶剂,而这些溶剂含有大量的有机物成分。目前,针对这种气体排放,一般采用吸附、焚烧或两者相结合的处理方法,客户需要根据自身的废气处理特点以及当地的废气治理排放标准进行选择,因地制宜方能稳定达标排放。
半导体行业VOCs废气处理技术工艺皓隆环境介绍:
旋转式RTO是通过旋转阀的转动,改变废气进入陶瓷的位置,实现蓄热区与放热区的交替转换。陶瓷蓄热体分成十二区,五个进风区,五个出风区,一个吹扫区,一个隔离区。每个蓄热区依次经历蓄热-放热-吹扫过程,周而复始,连续工作。
半导体行业VOCs废气废气通过废气收集装置,将VOCs废气经高压风机送入RTO系统中加热,温度提升后进行高温氧化分解,最终转化为无害的二氧化碳和水。本设备将燃烧后的高温烟气用蜂窝状陶瓷蓄热体把热能回收并储存,热回收率高达95%,用于废气预热,达到环保节能的目的。
山东皓隆环境科技有限公司坐落于美丽的世界风筝之都——潍坊,是一家专业致力于环保科技产品的开发与应用,承接各类有机挥发性气体(VOCs)净化处理工程的高新技术企业。特别对于涂装、包装、印刷、医药、化工等行业产生的废气治理,具有较强的技术优势,可实现从工程设计到产品制作、现场安装调试及环保验收服务,达到国家污染气体治理的排放标准,满足环保部门的检测要求,是当地的科技环保创新型企业。
皓隆环境立足于“创皓隆精品,筑美好蓝天”的企业愿景,秉承“科学管理、诚信为本”的优良传统,坚持“敢为人先”的创新思路,对新产品、新技术,敢于探索与尝试,紧跟市场发展步伐,以良好的企业信誉、精湛的施工技术携手国内外众多合作伙伴,为人类与自然环境更加和谐的美好明天,不忘初心,砥砺前行。
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