废气处理系统-华林科纳CSE

华林科纳半导体CSE的废气处理系统可处理气体:酸性气体、碱性气体、其它特殊气体,负压范围为:-500Pa至-1500Pa;

设备名称

华林科纳CSE-废气处理系统

系统说明

1.可处理气体酸性气体、碱性气体、其它特殊气体,负压范围为: -500Pa至-1500Pa;

2.工艺稳定,负压波动在15%.

3.电压:380V,三相五线,8KW;

4.采用英国废气处理系统工艺,CSB在原 工艺上经过升级改造,新的系统推出市场后,客户反映效果较好;

系统工作原理

  1. 为酸性/碱性/其它特殊气体处理系统,主要由以下几大部分组成:负压腔、正压腔、初级锥形喷淋塔、三级喷淋净化塔、高压射流器、抽风孔、负压动力泵、循环喷淋泵、电控系统:
  2. 废气经过一级锥形喷淋塔进入负压腔内( 每个喷淋塔中间为伞装型喷头,对废气层形成水封,瞬间中和废气)、通过射流器产生负压把负压腔内的废气抽入正压腔内中和(在负压腔与正压腔之间设有三级喷淋净化塔,三级喷淋净化塔内配有PP填料,配有喷嘴,再次充分喷淋中和废气)、 处理完的气通过正压腔上的排气口排出。

成功案例

河北普兴电子有限公司

上海新傲半导体有限公司

上海硅酸盐研究所中试基地

苏州纳维科技有限公司

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