芯片厂生产废气处理旋转式RTO技术工艺介绍

芯片厂在生产工艺中使用各种酸液清洗、刻蚀芯片等过程中产生HF、HCl、硫酸雾等酸性气体。对于芯片厂企业在生产工艺过程中产生的腐蚀性气体（如酸、碱性废气）的治理，目前大多企业采用液体吸收法治理，但是废气处理效果却都不尽人意，因此山东皓隆环境选择旋转式RTO技术技术工艺进行治理，效果下面就来详细的为大家介绍！

皓隆环境旋转式RTO技术工艺其原理是有机废气经过旋转分配阀进入蓄热室预热，然后进入氧化室，加热升温到800℃以上使有机废气氧化分解成CO2和H2O；从而净化废气，并回收废气分解时所释放出来的热量，废气分解效率高达99.5 %，热利用效率达到95%以上。旋转式RTO实现炉体和阀门的相对独立，同时便于安装与维护，结构紧凑，占地面积小。废气通过连续运转的旋转分配阀交替均匀引入，气流顺畅，出口波动范围小，12个蓄热室交替工作，节约设备能耗。旋转式RTO是我公司在消化、吸收国内外先进技术的基础上，采取“引进+积累+改进+创新”的方式，自主研发设计的一款高效有机废气治理设备。

芯片厂生产废气处理旋转式RTO技术工艺介绍：

芯片厂生产废气通过废气收集装置，将VOCs废气经高压风机送入RTO系统中加热，温度提升后进行高温氧化分解，最终转化为无害的二氧化碳和水。本设备将燃烧后的高温烟气用蜂窝状陶瓷蓄热体把热能回收并储存，热回收率高达95%，用于废气预热，达到环保节能的目的。

旋转式RTO技术工艺适用范围：

行业：主要应用于涂装、喷漆、烘炉、电子企、医药、化工、印刷、橡胶等领域。

风量：1000-100000Nm3/h

浓度：中高等浓度范围≥1000mg/m3

组分：一种或多种组份。

皓隆环境立足于“创皓隆精品，筑美好蓝天”的企业愿景，秉承“科学管理、诚信为本”的优良传统，坚持“敢为人先”的创新思路，对新产品、新技术，敢于探索与尝试，紧跟市场发展步伐，以良好的企业信誉、精湛的施工技术携手国内外众多合作伙伴，为人类与自然环境更加和谐的美好明天，不忘初心，砥砺前行。