案例分享 | 无锡某半导体行业有机废气治理

半导体行业

如未经处理直接排放会影响周围环境，同时对人体的危害也是极为严重，所以越来越多的企业都注重环保意识，必须进行废气处理后才能排入大气之中。目前国家加大对环境的保护力度，对企业的废气处理要求也越来越严格。

案例分享

无锡某半导体行业有机废气治理案例

项目背景：

本项目位于江苏省无锡，业主是一家从事微电子业务，及芯片设计、晶圆制造、封装测试等全产业链一体化运营能力的半导体企业。在进行生产时会产生大量的有机废气，包含异丙醇(IPA)、丙酮Acetone、PGMEA、PGME、MEA、DMSO等成分，处理风量共160,000 m3/h，废气浓度为100mg/m3。

单一的活性炭吸附工艺已无法满足环保部门对有机废气双 90（处理效率、收集效率）的要求，为了积极响应政府对环境保护的号召，同时也为了更好的履行社会责任，实现改善创造良好环境，业主进行有机废气处理工艺的升级改造。

设计方案：

治理工艺：沸石转轮浓缩+催化氧化 (CO)

浓缩倍数：25倍

方案：

Fab内制程设备产生的废气在主工艺风机抽吸的作用下，经前处理进入沸石转轮进行吸附浓缩，废气中的VOCs物质被吸附到沸石上，净化后气体达标排放。抽取部分排放气经过换热器升温至180℃后，送往转轮的脱附区，大量的VOCs被解吸出来，进入CO炉被加热到300℃以上进行催化氧化处理，氧化成为CO2和H2O，达标后通过烟囱排放至大气中。

优势：

本筒式转轮选用东洋纺的沸石模块，沸石含有率≥75%，净化效率高达97%，不需要冷却段。筒式转轮的结构优点为：

1. 易于处理大风量废气；

2. 沸石含有率高，高浓缩倍率；

3. 安装及维护简单，不需吊装机械；

4. 单一沸石模块重量6~13公斤，尺寸轻巧，安装方便。

验收情况：

经本系统处理的废气，VOCs排放浓度符合《江苏省半导体行业标准》的排放标准，在半导体行业中该系统设备更科学、更安全、高效率的解决废气问题，且性价比更高，净化效率≥95％，且无二次污染。