离子注入机可维修进口真空泵的哪些故障

 我们今天讨论的是离子注入机可维修进口真空泵的哪些故障。

,

   1.修复真空系统的方法及步骤

,

针对这台离子注入机的关键技术指标是高真空和高电压(关于高压修复略)这两个难题，采用下列技术措施。

,

 (1)把整个设备化整为零分段检修

,

这台离子注入机各种粗细真空管道有4米多长，大小法兰、接头、观察窗有60多个，我们先把全机拆开成许多小单元，并用航汽油清洗、烘干，等待装配。

,

 (2)进口真空泵、扩散泵真空极限的确定

,

在测定真空极限参数以前，应制作一个多用圆盖板，圆盖板上有两个能固定热孤电离规的接头。经检修后的扩散泵应使用圆盖板堵住并监测真空极限值。经一周的反复试验后分别得到了1×10-3和5×10-7托的真空值。极限参数确定后，可逐段联接系统。

,,

 (3)扩散泵进气口至三通之间的密封

,

把扩散泵装在主机架上并与三通相接，关闭三通前Φ60阀，三通的另一端用多用圆盖板堵住。经修复后测得真空值为1×10-6托。

,

 (4)三通至加速聚焦器之间的密封

,

把三通与加速聚焦瓷套相接，并用多用圆盖板把瓷套一端堵住。经检漏后测得真空值为4×10-6托。

,

 (5)加速瓷套与扫描器、靶室之间的密封

,

把加速瓷套与扫描器、靶室相接，并用圆盖板取代靶室的靶盖。经检漏后测得真空值为3×10-5托。在这一环节中，重点应解决小电机转动的动密封和多接头、多观察窗的密封间题。在后级真空问题基本被解决之后，则应向前级扩展，一直扩展到离子源前的位置处。

,

 (6)获得系统真空极限的方法

,

在逐段安装检漏全机以后，系统的zui高真空值还需进一步获得。其方法是:每天连续抽8~12小时，约3~5天后得到了2.2×10-6托的真空值。这样，就确定了系统的真空极限，也满足了工艺技术中的要求。