来了解MKS真空计925系列性能参数
MKS925系列真空计（MlcroPirani传感器）
925系列MlcroPirani（微皮拉尼）传感器是一个*的、基于MEMS的传感器，它是一种热导测量计。925MlcroPirani常用于半导体设备及其它分析仪器中的真空压力测量。MlcroPirani传感器设计十分小型紧凑。其压力测量范围从常压至10-5Torr，比标准Pirani压力计低两个数量级。925具有数字或模拟通讯接口，925有三个设置点。
925系列真空计主要参数：
测量范围：1.0*10-5Torr至大气压
设定范围：5.0*10-4Torr至500Torr
精度：5*10-4至10-3Torr±10%读数,10-3至100Torr±5%读数,100Torr至大气压±25%读数
重复性：10-3至100Torr±2%
电源要求：9to30VDC,<1.5W
美国MKS925系列真空计订购资料（订货号如925-11030）：
|
型号 |
订购序号 |
|
925MlcroPirani |
925- |
|
接口类型 |
|
|
KF16 |
1 |
|
KF25 |
2 |
|
1/8NPT |
3 |
|
VCR4 |
4 |
|
VCR8 |
5 |
|
CF1.33 |
6 |
|
KF16扩展 |
8 |
|
通讯接口 |
|
|
RS232/模拟 |
1 |
|
RS485/模拟 |
2 |
|
模拟输出 |
|
|
MKS标准 |
0 |
|
MKS定制有*测范围 |
8 |
|
连接头和继电器 |
|
|
15针D-sub母头/1个接触点/925C兼容 |
1 |
|
15针D-sub母头/无接触点 |
2 |
|
15针D-sub母头/3个接触点 |
3 |
|
15针D-sub母头/3个接触点/双模拟输出 |
5 |
|
密封 |
|
|
标准/Viton密封 |
0 |
|
标准/UHV密封 |
1 |
|
标准/Viton密封/带显示 |
4 |
声明：本站部分文章内容及图片转载于互联 、内容不代表本站观点，如有内容涉及侵权，请您立即联系本站处理，非常感谢！