气体质量流量传感器特点

2020年10月28日上午8:37 • 企业新闻

气体质量流量传感器有一个由加热器与温度敏感元件组成的薄膜隔热的电桥式结构。该电桥式结构对流过芯片的空气或其他气体流量有灵敏和快速的反应。
气体质量流量传感器特点：
1) 先进的微加工技术
2) 对低气流速度敏感-0.1sccm
3) 先进检测流量20SLP
4) 快速响应，低电流损耗

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