洁净室的洁净等级,有一公认的标准,以class10为例,意谓在单位立方英呎的洁净室空间内,平均只有粒径0.5微米以上的粉尘10粒。所以class后头数字越小,洁净度越佳,当然其造价也越昂贵。
以上几点说明是zui基本的要求,另还有污水处理、废气排放的环保问题,再再需要大笔大笔的建造与维护费用!
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