废气处理催化燃烧法是借助催化剂在低温(200～400℃)下，实现对可燃物的完全氧化，其实质是活性氧参与的深度氧化作用。在催化燃烧过程中，催化剂的作用是降低活化能，而催化剂表面具有吸附作用，使反应物分子在催化剂表面富集，从而提高反应速率，加快反应速度。有机废气在催化剂的作用下，可以在较低的点火温度下无焰燃烧，氧化成CO2和H2O。同时，大量的热能被释放出来净化废气。
催化燃烧是有机物在气流中被加热,在催化床层作用下,加快有机物化学反应(或破坏效率的方法 ) ,催化剂的存在使有机物在热破坏时比直接燃烧法需要更少的保留时间和更低的温度。催化剂在催化燃烧系统中起着重要作用。用于有机废气净化的催化剂主要是金 属和金属盐 ,金属包括贵金属和非贵金属。目前使用的金属催化剂主要是 Pt、 Pd,技术成熟 ,而且催化活性高 ,但***比较昂贵而且在处理卤素有机物 ,含N、 S、 P等元素时 ,有机物易发生氧化等作用使催化剂失活。非金属催化剂有过渡族元素钴、 稀土等。近年来催化剂的研制无论是国内还是国外进行得较多 ,而且多集中于非贵金属催化剂并取能得了很多成果。例如V2O5 +MOX (M:过渡族金属 ) +贵金属制成的催化剂用于治理甲硫醇废气 , Pt + Pd + Cu催人剂用于治理含氮有机醇废气。
有机废气通过鼓风机进入氧化炉，由燃料加热，加热至250~300℃左右。在该温度下，废气中的有机挥发物在催化剂的作用下被氧化并分解成二氧化碳和水。同时，反应后的高温烟气进入特殊结构的陶瓷蓄热体，大部分热量被再生器吸收95％以上），温度降低到入口附近的温度，然后通过烟囱排出，达到净化废气的目的，吸收的热量用于预热后续的废气，从而降低反应温度并减少消耗品。
从实际技术状态做起：状态检测维修是对废气处理设备实际技术状态额外基础的预防维修方式，一般此种设备日常点检 和定期检查来查明设备技术状态，针对设备的劣化部位以及程度，在故障发生前，适时地进行预防维修，排除故障隐患 恢复设备的功能和精度。
催化燃烧装置还原法的主要原理是在高温和催化剂存在的条件下，将废气中的NO还原为无污染的N2。由于反应温度高，催化剂要求高，设备投资高，运行成本高。
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