德高洁多晶硅还原炉钟罩清洗系统成为清洁工艺

多晶硅，是单质硅的一种形态，多晶硅材料是光伏产业的基础。在生产中，还原炉每运行一个周期，其内表面都会残留无定形硅，同时含有氯硅烷水解物及其他粉尘杂质。因此每运行一个周期需要采用清洗液，并根据残留物分布情况对还原炉基盘和钟罩分别采用特定的清理工艺进行处理。还原工艺是多晶硅生产的关键工艺，其工艺条件和参数控制好坏直接影响产品质量和产量。