ISO-14644的洁净度等级表

ISO-14644的洁净度等级表
一、净化工程洁净室主要根据室内洁净度、气流形式、控制对象、结构等特点分类。按室内洁净度分类主要分为1级、10级、100级、10000级、10000级。按控制对象分类分为工业洁净室和生物洁净室。工业洁净室以空气中的悬浮尘埃为控制对象,生物洁净室以悬浮生物粒子(微生物)为控制对象。洁净室它是悬浮粒子浓度受控,其建造和使用方式使得进入、产生、滞留于室内的粒子较少的房间。室内的其它参数包括:温度、温度、气压等,按需要受控。
二、ISO-14644的洁净度等级表。
洁净室及洁净空气中悬浮粒子的洁净度等级ISO-14644
 
空气洁净度等级(N) ≥表中粒径的*大浓度限值(个/m3
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm
1 10 2 / / / /
2 100 24 10 4 / /
3 1000 237 102 35 8 /
4 10000 2370 1020 352 83 /
5 100000 23700 10200 3520 832 29
6 1000000 237000 102000 35200 8320 293
7 / / / 352000 83200 2930
8 / / / 3520000 832000 29300
9 / / / 35200000 8320000 293000

 
 
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