特种气体系统工程技术规范 – – 硅烷站和特种气体管道输送系统

1.1　硅烷工艺系统

5.1.1硅烷站工艺系统应根据下列因素确定
1  硅烷的危险性质
2  硅烷站的规模
3  用户对硅烷纯度及压力要求
4  用户对硅烷负荷变化情况的要求
5.1.2硅烷站应根据工艺要求、当地气候状况、硅烷设备状况选择采用封闭式、开敞式或露天形式进行布置。
5.1.3硅烷输送工艺系统应包括硅烷容器、气体面板、阀门箱以及相应的连接管道。
5.1.4典型的硅烷气体面板应包括减压过滤、吹扫/排气、安全控制等功能。
5.1.5硅烷应采用独立的惰性气体钢瓶进行吹扫，不得采用公用管道氮气吹扫。
5.1.6阀门箱应配置惰性气体吹扫系统、泄漏侦测和火焰侦测。
5.1.7硅烷的放空不得排入局部排风系统，应直接排到大气，或燃烧式尾气处理器。放空管道应使用氮气连续吹扫。放空管道吹扫氮气流速不应低于0.3m/s。
5.1.8钢瓶出口应设置常闭式紧急切断阀。硅烷站的各安全出口应设置手动紧急切断按钮，***有一个手动紧急切断按钮与输送系统的距离应大于4.6米。
5.1.9硅烷输送系统应采用金属膜片的波纹管阀、隔膜阀、调压阀。气源应配置直径小于3.175mm的限流孔板。输送系统应配置过流开关。
 
1.2　硅烷站的布置
5.2.1硅烷站的布置，应按下列要求综合比较确定：
1  应布置在工厂常年*小频率风向的上风侧，并应远离有明火或散发火花的地点；
2  不应布置在人员密集地段和主要交通要道邻近处；
3  硅烷站应采用单层钢筋混凝土或钢框架、排架结构。钢框架、排架结构应采用防火保护措施。
4  硅烷站应设置不燃烧体的围墙，其高度不应小于2.5m；
5  大宗硅烷站必须布置为独立的开敞式建筑物或空旷区域，不得有地下室。当采用开敞式建筑结构形式时，硅烷站墙面遮挡部分面积不大于建筑外围面积的25%。如果有障碍物，距离应保证大于障碍物高度的2倍。
6  硅烷站的选址应方便运输和消防车辆的进出。
5.2.2硅烷站与工厂建筑物、构筑物的防火间距，不应小于表5.2.2的规定。
表5.2.2硅烷站与其他建筑物、构筑物、道路的防火间距（m）

注：1 防火间距应按相邻建筑物、构筑物的外墙、凸出部分外缘、气瓶集装格外缘的*近距离计算。
2固定容积的硅烷气罐，总容积按其水容量（m3）和工作压力（***压力）的乘积计算。
3 与高层厂房的防火间距，应按本表相应增加3m。
5.2.3硅烷站的建筑设计应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的规定。
5.2.4硅烷站可采用有坡度的屋顶，屋顶*低点宜大于4.5米。硅烷站的面积大于19m2时，必须有两个安全出口。
5.2.5站内任何地点到*近安全出口的距离不得大于23m。
5.2.6硅烷站应采用快开式推杆锁，不得采用其它形式的锁具，疏散门应采用平开门，朝向为疏散方向。
5.2.7露天布置的硅烷站内大宗容器之间以及容器与工艺面板之间应距离9米，当距离不到9米时，应采用2小时防火隔断。防火隔断的设置不应影响自然通风。
 
1.3　安全技术措施
5.3.1硅烷站的电气控制室应设置在单独的房间内，并用无门窗洞口的防爆墙与硅烷气瓶库隔开。供硅烷站专用的10kV及以下变配电所，不应设置在硅烷站厂房内或贴邻建造。
5.3.2硅烷大宗钢瓶应进行防静电接地。
5.3.3对于抽风管道的泄漏探测器，设定值不应小于0.34%（V/V）(25% LEL)， 警并自动关闭输送系统。环境监测点设定值不应小于5ppm， 警但不需要切断输送系统。
5.3.4开放式输送系统大宗钢瓶区域必须设置紫外/红外火焰探测器。封闭式输送系统应采用高温探测器。火焰或感温探测器应与 警系统和紧急切断系统联动。
 
1.4　采暖通风与空气调节
5.4.1采用开放式布置的硅烷站，应采取有效的措施，保证自然通风，防止硅烷气体积聚。若不能满足开放式的条件时，应设置强制通风系统。
5.4.2封闭式硅烷站严禁采用循环空气调节系统。
5.4.3封闭式的硅烷站室内温度、湿度设计参数应满足气柜的要求。当气柜无具体要求时，室内设计参数宜满足25±3℃。
5.4.4封闭的硅烷站应设置独立的连续排风系统。
5.4.5气柜排风量应按照硅烷的*大储存压力下限流孔板（RFO）的硅烷连续流量计算气柜内的硅烷浓度，应保证气柜内的硅烷体积浓度小于0.4%，并保证流经气瓶颈部和管道机械连接处的气流速度不小于1m/s来确定。
5.4.6气瓶组直接安装在封闭的硅烷站内，房间排风量应按照硅烷的*大储存压力下限流孔板（RFO）的硅烷连续流量计算房间内的硅烷浓度，应保证气柜内的硅烷体积浓度小于0.4%来确定。
5.4.7硅烷阀门箱的排风量应按照硅烷的*大储存压力下限流孔板（RFO）的硅烷连续流量计算气柜内的硅烷浓度，应保证气柜内的硅烷体积浓度小于0.4%来确定。
5.4.8封闭的硅烷站应设置事故通风，事故通风量根据事故泄漏量计算确定，但换气次数不应小于每小时12次。硅烷站外应设置紧急按钮。
5.4.9硅烷站排风系统应设置备用机组。
5.4.10硅烷站空调系统应采用适当措施保证在空调机组维护或故障时，硅烷站能取得足够的补风。
5.4.11