按照硅片电阻率测量的国际标准(ASTM F84)及国家标准设计制造该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》并参考美国 A.S.T.M 标准,本机配置232电脑接口及USB两种接口,本机采用范德堡测量原理能改善样品因几何尺寸、边界效应、探针不等距和机械游移等外部因素对测量结果的影响及误差,比市场上其他普通的四探针测试方法更加完善和进步,特别是方块电阻值较小的产品测量,更加准确.
本仪器本仪器采用四探针单电测量法适用于生产企业、高等院校、科研部门,是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。
本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料。液晶显示,无需人工计算,并带有温度补偿功能,电阻率单位自动选择,仪器自动测量并根据测试结果自动转换量程,无需人工多次和重复设置。采用高精度AD芯片控制,恒流输出,结构合理、质量轻便,运输安全、使用方便;选配:配备软件可以由电脑操控,并保存和打印数据,自动生成 表;本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示,同时显示液晶显示:电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率,配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.
技术参数及功能介绍
规格型号 | FT-331 | FT-332 | FT-333 | FT-334 | FT-335 | FT-336 |
1.方块电阻范围 | 10-5~2×105Ω/□ | 10-4~2×103Ω/□ | 10-3~2×105Ω/□ | 10-3~2×103Ω/□ | 10-2~2×105Ω/□ | 10-2~2×103Ω/□ |
2.电阻率范围 | 10-6×106Ω-cm | 10-5×104Ω-cm | 10-4~2×106Ω-cm | 10-4~2×104-cm | 10-3~2×106Ω-cm | 10-3~2×104-cm |
3.测试电流范围 | 0.1μA ,1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA | 10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA | 0.1μA ,1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA | 10μA,100μA,1mA,10mA, 100 mA |
0.1μA,1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA | 1μA,10μA,100μA,1mA,10mA,100 mA |
4.电流精度 | ±0.1%读数 | ±0.2%读数 | ±0.2%读数 | ±0.3%读数 | ±0.3%读数 | ±0.3%读数 |
5.电阻精度 | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.5% | ≤0.5% | ≤0.5% |
6.显示读数 | 液晶显示:电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率 | |||||
7.测试方式 | 普通单电测量 | |||||
8.工作电源 | 输入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<30W | |||||
9.整机不确定性误差 | ≤4%(标准样片结果) | |||||
10.选购功能 | 选购1.pc软件; 选购2.方形探头; 选购3.直线形探头; 选购4.测试平台 |
维护和保养
1 .使用者的维护
为了防止意外发生,请不要接触机内部件。本机器内部所有的零件,***不需使用者的维护。如果机器有异常情况发生,请直接与瑞柯仪器公司厂家联系或其指定的经销商给予维护。
2. 使用者的修改
使用者不得自行更改机器的线路或零件,如被更改机器后保修则自动失效并且本公司不负任何事故责任。在保修内使用未经我公司认可的零件或附件造成故障也不予保证。如发现送回检修的机器被更改,将机器的电路和零件修复回原来设计的状态,并收取修护费用。
3.测试工作站
3.1工作位置
工作站的位置选择必须安排在一般人员非必经的处所,使非工作人员选离工作站。如果因为条件限制的安排而无法做到时,必须将工作站与其这它设施隔开并且特别标明“测试工作站”。如果工作站与其它作业站非常接近时,必须特别注意安全的问题。在测试时必须标明“测试执行中,非工作人员请勿靠近”
4.输入电源
输入:220V±10% 使用频率:50Hz
4.3.3工作场所
尽可能使用非导电的工作桌工作台。操作人员和待测物之间不得使用任何金属。操作人员的位置不得有跨越待测物去操作或调整测试仪器的现象。测试场所必须随时保持整齐、干净,不得杂乱无章。测试站及其周边之空气中不能含有可燃气体或在易燃物质。
4.3.4人员资格
本仪器为精密仪器,必须由训练合格的人员使用和操作。
4.3.5安全守则
操作人员必须随时给予教育和训练,使其了解各种操作规则的重要性,并依安全规则操作。
4.3.6衣着规定
操作人员不可穿有金属装饰的衣服或戴金属手饰和手表等,这些金属饰物很容易造成意外的感电。
4.3.7医学规定
***不能让有心脏病或配戴心律调整器的人员操作。
4.4测试安全程序规定
一定要按照规定程序操作。操作人员必须确定能够完全自主掌控各部位的控制开关和功能。
4.5安全要点
● 非合格的操作人员和不相关的人员应远离测试区。
● 万一发生问题,请立即关闭电源并及时处理故障原因。
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