高温四探针电阻率测试详情介绍

适用行业：Applicable industry:
用于：企业、高等院校、科研部门对导电陶瓷、硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率、测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜等新材料方块电阻、电阻率和电导率数据.
双电测四探针仪是运用直线四探针双位测量。设计符合单晶硅物理测试方法
标准并参考美国 A.S.T.M 标准。

高温四探针电阻率测试详情介绍
型号及参数Models and technical parameters：

规格型号Models	FT-351A	FT-351B	FT-351C
1.方块电阻范围sheet resistance	10-5～2×105Ω/□	10-6～2×105Ω/□	10-4～1×107Ω/□
2.电阻率范围resistivity range	10-6～2×106Ω-cm	10-7～2×106Ω-cm	10-5～2×108Ω-cm
3.测试电流范围test current range	0.1μA.μA.0μA，100A，1mA，10mA，100 mA	1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA	10mA —200pA
4.电流精度current accuracy	±0.1%读数	±0.1读数	±2%
5.电阻精度resistance accuracy	≤0.3%	≤0.3%	≤10%
PC软件界面 PC software interface	显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率 LCD: resistance.resistivity. sheet resistance.  temperature.unit conversion. temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness
7.测试方式test mode	双电测量Double electrical measurement
8.四探针仪工作电源working power	AC 220V±10%.50Hz  <30W
9.误差errors	≤3%（标准样片结果 standard samples）	≤15%
温度(选购)Highest temperature (choose and buy)	常温 Normal temperature -400℃；600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃；1600℃
气氛保护（气体客户自备） Atmosphere protection(Gas was provided by customers themselves)	常用气体如下：氦(He)、氖(Ne)、氩(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn)，均为无色、无臭、气态的单原子分子 The usual gases are: helium (He). neon (Ne). argon (Ar). krypton (Kr). xenon (Xe). and radon (Rn). all in colorless. odorless. gaseous monatomic molecules.
温度精度 Temperature precision	冲温值 Blunt temperature values：≤1-3℃；控温精度 control precision：±1°C
升温速度： rate of temperature increase	常温开始400℃–800℃需要15分钟；800℃-1200℃需要30分钟；1400℃-1600℃需要250分钟—300分钟 About 15 minutes at room temperature to 400 ℃. 800 ℃;800 ℃ to 1200 ℃ need 30 minutes;1400 ℃ to 1600 ℃ to 250 minutes. 300 minutes
高温材料 High temperature material	采用复合陶瓷纤维材料，具有真空成型，高温不掉粉的特征Adopt composite ceramic fiber material. have vacuum forming. high temperature not drop powder
PC软件 PC software	测试PC软件一套，USB通讯接口，软件界面同步显示、分析、保存和打印数据！One set Special test PC software. USB communication interface. software interface synchronization display. analysis. save and print data!
电极材料 Electrode materials	钨电极或钼电极 Tungsten electrode or molybdenum electrode
探针间距 The probe spacing	直线型探针，探针中心间距：4mm；样品要求大于13mm直径Linear probe. probe center spacing: 4mm;Sample requirements are greater than 13mm diameter
标配外（选购）： Except standard configuration (optional)	电脑和打印机1套；2.标准电阻1-5个； 1 . One set computer and printer  2.Standard resistance 1 to 5pcs
高温电源： High temperature power	供电：400-1200℃ 电源220V，功率4KW；380V;1400℃-1600℃电源380V；功率9KW： Power supply: 400-1200 ℃ power 220 v. 4 kw power;380 v;1400 ℃ to 1600 ℃  power supply380V ;  power 9KW

 
 高温四探针电阻率测试详情介绍
操作流程及步骤
1.系统连接：将各个部件及控制系统、电源及USB通讯接口接通；
2.调通系统的连接是否正常，可以从PC软件及电阻率测试仪上的数据变化看出.
3.在高温箱体上分段设定所需要温度，当然也可以不分段而设定一个温度.具体高温箱体仪表操作请查看《温度仪表操作手册》.
4.待样品通过高温夹具进入高温箱体.
5.开启惰性气体输入阀门.
6.温度实时上升过程中，样品阻值实时曲线变化.
7.带温度达到设定值时，自动停止加热.
8.测试完毕，关闭高温电源，带10-20分钟后.
9.通过高温手套，移动夹具上升离开高温箱体.
10.用镊子取出样品.