GF产品在多晶硅制造工艺中潜在的应用段

GF产品在多晶硅制造工艺中潜在的应用段

多晶硅生产合成的主工艺段:

*段HCl气体:

氢气和氯气来自烧碱副产物,在石墨反应器燃烧生成HCL,水吸收后得到高纯盐酸。

氢气管线可以用GF公司PPH

60度6bar的HCl液体可以用GF公司PP-H

我们替代的原有设计材质为FR-PVC和钢衬聚丙烯(PO)。

第二段 三氯氢硅(气液混合物):

硅粉与HCl气体在400 度条件下燃烧

此段不能采用GF产品,一般采用304L管,

第三段 精馏提纯:

一般设26个精馏塔,产生大量尾气;

第四段 还原:

还原工艺主流程中使用316 钛管,不能采用GF产品;

辅助流程中有脱盐水制备和使用,可以用GF的UPVC 、PP-H或PVDF 。

第五段 尾气吸收:

尾气(含HCl气体、CaO粉尘、烟尘等)多来自精馏提纯段。

水洗过程中,俄罗斯工艺用石灰乳浆液(10%的石灰乳浆液,温度20度,工作压力10bar 以下)吸收尾气,原有设计上采用钢衬四氟管。

水洗过程中,中方技术用水或碱液(32%的NaOH ,温度20度,工作压力10bar 以下)液吸收尾气,原有设计上采用FR-PVC 管。

目前我们推荐采用GF的PP-H.

第六段 CDI分离:

主工艺得到的产品是混合物,含有三氯氢硅、四氯化硅、HCl干气体等多种成分,需要进行分离。

分离技术一般来自美国(化工设计院不作)。

分离工艺中有脱盐水输送管路,材料有可能与后处理段的超纯管路材料相同,也可能是稍低一等的材质GF PP-H 或PP-CDB 。

分离工艺中大量的超纯水,可以采用GF的PVDF 。

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