各种物件在送入洁净区前必须经过净化处理,简称物净”。
物料净化路线与人净路线应分开,如果物料与人员只能在同一处进入洁净室,也必须分门而入,物料并先经过粗净化处理。
对于生产流水线不强的场合在物料路线中间可设中间库。
如果生产流水线很强,则采用直通式物料路线,有时还需要在直通路线中间设多次净化、传递设施。在系统设计用房的粗净化和精净化阶段由于会吹落很多生微粒,所以相对洁净区应保持负压或零压,如果污染危险性大则对也要保持负压
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