多晶圭废气净化方案一、废气污染源工况 硅料酸洗车间需用硝酸和氢氟酸对多晶硅进行清洗，多晶硅酸洗废气主要为HF、HCL、氮氧化合物。二、净化工艺 净化工艺有：液体中和固体吸附法。 液体中和吸收法主要是利用酸碱中和原理对HF、HCL、氮氧化合物进行净化。 固体吸附法是采用吸附的原理对HF、HCL、氮氧化合物进行吸附吸收，吸附剂为活性炭。三、我们的净化方案 针对多晶硅酸洗废气***点，结合我们给老客户的废气处理工程******和客户运行***，摸索出一套针对单晶硅酸洗废气的排风净化工艺和设备。酸洗废气采用多级串联吸收方式吸附净化。1、净化工艺流程图（见附图1）
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